光栅线位移传感器工作原理
光栅线位移传感器概述开放式光栅线位移传感器为高精度型,输出波形为正弦波,主要用于精密仪器的数字化的改造,分辨率可达0.1um;封闭式光栅线位移传感器则主要用于普通机床、仪器的数字化改造,输出的波形为方波,按外形可分为小型尺和标准尺,其中标准型长可做到3000mm,分辨率有1um、5um。
光栅位移传感器,是由一对光栅副中的主光栅(即标尺光栅)和副光栅(即指示光栅)进行相对位移时,在光的干涉与衍射共同作用下产生黑白相间(或明暗相间)的规则条纹图形,称之为莫尔条纹。经过光电器件转换使黑白(或明暗)相同的条纹转换成正弦波变化的电信号,再经过放大器放大,整形电路整形后,得到两路相差为90°的正弦波或方波,送入光栅数显表计数显示。