电阻真空计的原理介绍

　　电阻真空计即采用电阻技术的真空计，一般先校准零点，再进行满度校准。

　　原理

　　金属圆筒内部设有一白金细线，两端连接电极。

　　通过电极给白金细线提供电流时，白金细线会发热，气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式，白金线的热量会被夺走。

　　单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg，Qr，Qs，则平衡状态下时以下公式成立

　　Q=I2R=Qg+Qr+Qs（1）

　　Q是单位时间细线放出的热量，R是细线的电阻，I是细线的电流。

　　气体的平均自由行程比细线的直径大很多时，Qg通过自由分子的热传导被表示为

　　Qg=αΛπda（T-T0）p（2）

　　T和T0分别为细线和金属圆筒的温度，P为气体压力，a是细线长度。剩下的Qs和Qr可以分别表示如下

　　Qs=Sκ（T-T0）/L（3）

　　Qr=πdaσε（T4-T04）（4）

　　（3）是电极的热传导，其中S是细线的断面积，κ是固体的传导率，L是电极的长度。

　　（4）式代表热辐射，σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定，则（3）和（4）式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射，则式1可以表示为

　　I2R=Ap+I02R（5）

　　A=αΛπda（T-T0）（6）

　　I0是压力为0的时候细线的电流，是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。A式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻R，电流I0及定数A，则可以通过（5）式求得压力P。

　　校准

　　一般先校准零点，再进行满度校准。

　　（1）校准零点。

　　校准零点需对被测真空系统抽真空，一旦电离规测得真空度高于1.0^-1Pa（如9.9X10^-2Pa），按“校零”按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正零点，当显示1.0^-1Pa时，表示规管零点已校准。

　　对于无自动零点校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。

　　（2）满度校正。

　　校准完零点后，需对其满度校正。按满度校正过程要求，对被测炉腔放人大气，确保被校电阻规所测位置为大气状态，在大气压下工作约10分钟。

　　按“满度”按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正满度，当显示1.0^5Pa时，表示规管满度已校准。对于无自动满度校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。