真空镀膜机的均匀性介绍

　　真空镀膜机的厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看（也是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好；

　　可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。

　　但是如果是指原子层尺度上的均匀度，也是说要实现10A甚至1A的表面平整。

　　真空镀膜机在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学；

　　那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。

　　真空镀膜机的晶格有序度的均匀性：这决定了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技术中的热点问题，具体见下。

　　真空镀膜机的操作程序

　　①检查真空镀膜机各操作控制开关是否在“关”位置。

　　②打开总电源开关，设备送电。

　　③低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。

　　④安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。

　　⑤落下钟罩。

　　⑥启动抽真空机械泵。

　　⑦开复合真空计电源

　　a。左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。

　　b。低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。

　　⑧当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

　　⑨真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。

　　⑩低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。

　　低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。

　　等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。

　　a。发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。

　　b。左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。