氦质谱检漏仪日常保养

　　氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

　　设备日常保养：

　　1、定期检查机械泵的油位，如果不足要及时添加；如果机械泵油

　　呈棕色、褐色或闻起来有糊味，说明油已经变质。此时，应放出泵中油，必要时，先用新油冲洗后，再注入新油。

　　2、定期清洗或更换机械泵的排气管。如果发现排气管内积存了很

　　多油滴，可以将其从仪器内部取下来，然后清洗它，再用热风吹干或是自然晾干。